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正确判断真空镀膜机漏气方法
发布时间:2014-08-14 浏览:6181 次

  真空镀膜机,在经过一段长时间的抽气过程之后,如果达不到预定的极限真空,其原因可根据实际情况进行分析和判断以找出问题所在:

  (1)真空泵工作是否良好;

  (2)真空系统内是否存在严重放气;

  (3)真空系统容器壁或间隙处是否漏气;

  (4)是否漏气与放气现象共存。

  查找上述几项原因的最普通方法是静态升压法。这种方法通常是把被检测的容器抽到一定的低压后,将阀门关闭,使容器与泵隔离,然后测量容器内的压力变化,做出压力随时间的变化曲线,就可以得出如图1所示的图形。

  若图像呈现出图1中直线a的情况,即压力保持不变,但其压力的恒定值Pb高于所要求的极限压力值,那么真空容器中真空度抽不上去的原因就是真空泵工作性能不良。

  若图像出现图1中曲线的情况,即压力开始时上升较快,然后上升速度渐缓并逐渐趋于水平恒定状态,这说明主要是由开始抽气后产生的放气造成的,因为不论是蒸汽源的放气或材料的放气,在达到一的压力后都会呈现出饱和状态的趋势。

  若图像显现出斜线c的情况,即压力是直线上升状态,这就是漏气;其漏气率正比于内外的压力差。

  若图形是呈现出曲线d的情况,即压力开始上升很快,但逐渐变得缓慢,而并不出现饱和状态,实质就是曲线b与斜线c的叠加,即设备同时存在漏气与放气两种现象。

  只要判断出上述4种情况后,就可以采取相应的措施加以解决。

  对直线a与曲线b均可以从选泵、设计时选用合适的材料及结构,并注意从真空卫生等有关方面加以解决即可,并不属于真空检漏的技术工作范围,因此在真空检漏技术中主要是解决斜线c与曲线d的问题,即判断真空系统确实存在漏气现象之后,就可以开展具体的检漏工作了。

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