真空系统的形式一般可分为:低真空系统、中真空系统、高真空系统以及超高真空系统。

　　低真空系统：这种真空系统的极限真空度在低真空范围内，只需用机械泵给真空室排气，系统比较简单。

　　中真空系统：这种系统应用比较普遍，许多应用设备都采用这种系统。如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。

　　高真空系统：高真空系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等，都采用高真空系统。

　　超高真空系统：超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。

　　由于这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展， 目前超高真空实用真空度已达到10-12Pa。

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