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真空系统的一般分类是怎样?
发布时间:2014-08-04 浏览:4018 次

  真空系统的形式一般可分为:低真空系统、中真空系统、高真空系统以及超高真空系统。

  低真空系统:这种真空系统的极限真空度在低真空范围内,只需用机械泵给真空室排气,系统比较简单。

  中真空系统:这种系统应用比较普遍,许多应用设备都采用这种系统。如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。

  高真空系统:高真空系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.67×10-2~1.33×10-3Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等,都采用高真空系统。

  超高真空系统:超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。

  由于这些现代科学技术发展的需要,大大促进了超高真空技术的发展, 目前超高真空实用真空度已达到10-12Pa。

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