一般真空设备零件所粘附的油脂分为动植物、油矿物油两大类。

　　动植物油可用碱溶液化学去除;矿物油可用有机溶剂去除。

　　但很多时候两种油脂经常会同时存在，因此在清洗过程中往往需要先后采用数种不同的溶剂。

　　(1)碱液去油

　　当零件浸入碱液时，由于碱液与油脂的化学作用可使动植物油(即可皂化油脂)转化为脂肪酸盐类(皂化作用)，这些盐类能溶解于水，从而能使零件除去油脂。以氢氧化钠为例，反应方程式如下：

　　( C17H35COO)3C3H5+NaOH=C3Hs( OH)3+Cl7H35COONa

　　硬脂酸酯 氢氧化钠 甘油 硬脂酸钠(肥皂)

　　矿物油与氢氧化钠不起反应，但在一定的条件下(例如在碱溶液中加入少量的肥皂)可使油膜遭到破坏，形成很小的油滴，悬浮在溶液中(即乳化作用)，达到部分去油的目的。

　　常用的碱液有氢氧化钠( NaOH)、氢氧化钾(KOH)(浓度50g/L～100g/L)、碳酸钠(Na2C0)及碳酸钾(K2C03)(浓度100g/L～150g/L)。

　　去油时加热到70℃～80℃，可加速去油过程。此外也可用碳酸钠(Na2CO)、磷酸钠(Na3P04)、硅酸钠(Na2Si04)及氰化钠(NaCN)的混合物溶液进行去油。

　　金属零件从去油溶液中取出后应立即在温水中彻底清洗，然后再用冷水清洗。若金属表面不被水湿润(有水滴)即表示油污尚未除尽，应再次进行处理。

　　目前已普遍采用合成洗净剂去油(如海鸥洗净剂)。用合成洗净剂与水以1:9比例配成溶液，将待去油零件放入沸腾溶液中，煮lOmin—15min(或用超声波振动20min～30min)，可获得良好的去油效果。

　　(2)有机溶剂去油

　　有机溶剂能够溶解矿物油和动植物油，通常可与碱液去油配合使用。常用有机溶剂有三氯乙烯、四氯化碳、丙酮、汽油、乙醚等。

　　三氯乙烯不燃烧，比汽油安全，它能很好地溶解矿物油、石蜡、树脂、橡胶等。其缺点是加热时(125℃以上)容易分解出氯化氢、氯气和一氧化碳等有毒气体。

　　此外三氯乙烯不能直接用火焰加热，如与火焰接触会分解出非常有毒的光气;光照亦会加速分解，因此储放三氯乙烯时要采用暗色玻璃瓶;湿空气、酸和铝与三氯乙烯接触时也能促使三氯乙烯分解，因此零件上若有酸性物质时应经过中和，而沾水零件必须烘干后再用三氯乙烯清洗。

　　铝零件和碱金属、碱土金属零件不能用三氯乙烯清洗。零件用三氯乙烯清洗后可在去离子水中清洗，最后用无水乙醇脱水，再用温度为70℃-80℃的烘箱烘干。

　　四氯化碳几乎不溶于水，但溶解于乙醇及其它有机溶剂。有毒。

　　丙酮是易燃的有机熔剂，使用时需注意安全。它的去油能力较强，能和水及乙醇以任意比例混合。零件经丙酮去油后，应再用无水乙醇浸洗，然后烘干。

　　汽油易燃烧，使用时必须注意安全。它可用来清洗不耐碱的零件，如铝等。通常使用的汽油为含杂质少的航空汽油。

　　甲醇可以和水以及其它溶剂很好地混合，它的沸点低，易挥发，所以零件清洗后可用它来进行二次清洗、脱水和加速干燥。

　　乙醇可与水及其它溶剂很好地混合，用于零件的二次清洗、脱水和加速干燥。通常使用无水乙醇。

　　乙醚能很好地溶解油脂和其它有机化合物。它的沸点很低，极易挥发，但难溶于水，其蒸气进入机械泵后很难被抽走。

　　水是各种无机物和其它物质的良好溶剂。由于自来水中含有较多的氯离子，所以一般均用加热后的自来水进行清洗。

　　当要求较高时，可采用蒸馏水或去离子水。通常用流动的热水清洗电镀后和用酸、碱腐蚀后的零件。

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