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Polycold低温水汽捕集泵详细介绍
发布时间:2014-01-13 浏览:7566 次

Polycold是低温水汽捕集泵,(waer vapor cryopump)的一个品牌,Meissner 先生发明了这个产品,(waer vapor cryopump)和相关的应用,并注册了品牌Polycold。目前该品牌是属于 美国brooks公司,国内用户对这个产品多直接使用Polycold称呼。-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump又称POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵、超低温捕集泵。


Polycold应用原理

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

 

Polycold维修

    

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