真空镀膜机系统工作时温度过高怎么解决？

原因分析：
1.缺油
2.抽气口与排气口错误连接
3.供油管线堵塞
4.油泵出现问题
5.油泵中外来物堵塞
6.环境温度达到或超过油蒸汽压
7.油蒸汽压低于指标
8.工作气体温度过高

解决方法：
1.加油
2.抽气管线与抽气口连接
3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油
4.修理或更换油泵
5.清理油泵
6.降低环境温度并注意空气流通
7.更换符合要求的泵油
8.更改工艺或加冷却系统

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