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真空镀膜设备维修时应注意什么问题? |
发布时间:2013-11-29 浏览:5798 次 |
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凡是有加热位置的胶圈,每次拆卸清洗时必须换,比如油增压泵各个接口,装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均,要从对角紧起。动密封多用轴封,上轴封时要细心,先检查轴封本身有无缺陷,密封面是否平整,轴封簧弹性如何,在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂,上轴封时用力要均,骨架轴封不要压偏了,偏了就会漏油、漏气,轴封簧别挤进去,没了轴封簧轴封就失效了.注意轴封与轴的同心度,有的泵是用对轮连接的,对轮的同轴性要求很严格,装配时要从轴的四面去量,保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。扩散泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电力纺擦干。
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